产品中心

产品中心

CVD-SiC涂层

Si外延石墨载盘

Si外延石墨载盘

Si外延石墨载盘具备优异的热稳定性、化学惰性与洁净度，可保障外延层均匀生长与晶圆良率。

立即咨询

查看更多

CVD-SiC涂层晶舟

CVD-SiC涂层晶舟

碳化硅晶舟是晶圆氧化扩散环节的核心承载部件，主要用于承载硅片。对纯度要求极高（超99.999%），金属粒子含量需严格控制。

立即咨询

查看更多

LED行业用外延石墨载盘

LED行业用外延石墨载盘

石墨基座表面复合的CVD-SiC涂层与石墨基材热膨胀系数匹配度高，具备优良的抗酸碱腐蚀性能，可有效阻挡石墨脱粉与腐蚀损伤，延长基座服役周期。

立即咨询

查看更多

SiC外延用碳化硅涂层石墨件

SiC外延用碳化硅涂层石墨件

主要解决高温腐蚀与污染（如传统石墨在含氧环境中易氧化粉化），在蚀刻工艺中，SiC涂层抵御Cl2、CF4等腐蚀性气体，保护腔体结构。降低颗粒脱落风险，使零部件寿命提升3-5倍，减少设备维护成本呢。

立即咨询

查看更多

加热器

加热器

碳化硅涂层加热丝是单晶硅拉制炉、多晶硅铸锭炉、高温工业炉与实验设备中必不可少的部件。

立即咨询

查看更多

导流筒

导流筒

碳化硅涂层加热丝是单晶硅拉制炉、多晶硅铸锭炉、高温工业炉与实验设备中必不可少的部件。

立即咨询

查看更多

< 1 >

Sorry，当前栏目暂无内容!

您可以查看其他栏目或返回 首页

Sorry，The current column has no content!

You can view other columns or return Home