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特种涂层

Si外延石墨载盘

Si外延石墨载盘

Si外延石墨载盘具备优异的热稳定性、化学惰性与洁净度，可保障外延层均匀生长与晶圆良率。

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CVD-SiC涂层晶舟

CVD-SiC涂层晶舟

碳化硅晶舟是晶圆氧化扩散环节的核心承载部件，主要用于承载硅片。对纯度要求极高（超99.999%），金属粒子含量需严格控制。

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LED行业用外延石墨载盘

LED行业用外延石墨载盘

石墨基座表面复合的CVD-SiC涂层与石墨基材热膨胀系数匹配度高，具备优良的抗酸碱腐蚀性能，可有效阻挡石墨脱粉与腐蚀损伤，延长基座服役周期。

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SiC外延用碳化硅涂层石墨件

SiC外延用碳化硅涂层石墨件

主要解决高温腐蚀与污染（如传统石墨在含氧环境中易氧化粉化），在蚀刻工艺中，SiC涂层抵御Cl2、CF4等腐蚀性气体，保护腔体结构。降低颗粒脱落风险，使零部件寿命提升3-5倍，减少设备维护成本呢。

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加热器

加热器

碳化硅涂层加热丝是单晶硅拉制炉、多晶硅铸锭炉、高温工业炉与实验设备中必不可少的部件。

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导流筒

导流筒

碳化硅涂层加热丝是单晶硅拉制炉、多晶硅铸锭炉、高温工业炉与实验设备中必不可少的部件。

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热解碳涂层

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热解碳涂层是高端装备与医疗植入领域的关键表面改性材料。

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热解碳涂层

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热解碳涂层是高端装备与医疗植入领域的关键表面改性材料。

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热解碳涂层

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热解碳涂层是高端装备与医疗植入领域的关键表面改性材料。

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氮化硼涂层

氮化硼涂层

特别适合半导体、高温炉、金属成型、电子绝缘等对洁净、绝缘、抗黏、耐高温有高要求的场景。

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