Si外延石墨载盘
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Si外延石墨载盘

Si外延石墨载盘具备优异的热稳定性、化学惰性与洁净度，可保障外延层均匀生长与晶圆良率。

所属分类：

CVD-SiC涂层

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        Si外延石墨载盘是半导体硅外延工艺的核心承载部件，通常以高纯度石墨为基体，表面制备致密 CVDSiC 涂层，具备优异的热稳定性、化学惰性与洁净度，可保障外延层均匀生长与晶圆良率。

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涂层材料

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CVD-SiC涂层晶舟

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